影响蔡司三坐标标测量机精度的硬件有哪些?
1. 导轨(X/Y/Z轴)
2. 轴承和电机驱动(气浮轴承和马达)
3. 长度测量系统(光栅尺及读数头等)
4. 传感器(探头)
一般,我们用三种精度指标评价每台蔡司三坐标的系统精度。MPEP、MPEE和MPE_THP。
三坐标测量机的精度指标定义
MPEP针对形状误差测量,MPEE针对线性尺寸测量,MPE_THP针对的是扫描模式下形状误差的测量。
MPE=Maximum Permissible Error=zui大允许误差
the probing deviation P=单点测量形状误差
the length measuring deviation E=长度测量误差
the scanning deviation THP=扫描形状误差
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