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对三坐标测量机精度评定或实施误差修正，要以坐标测量机固有误差的模型为基础，其中，须给出各误差项的定义，分析，传递及误差合成后的总误差。所谓的总误差，在三坐标测量机的精度检定中，是指反映坐标测量机精度特性的综合误差，即指示精度，重复精度等：在三坐标测量机的误差修正技术中，则是指空间点的矢量误差。
机构误差分析
三坐标测量机的机构特征，导轨对被它引导的部件限制五个自由度，测量系统控制运动方向上的第六个自由度，因此导向部件在空间的位置，由导轨及其所属的测量系统确定。
测头误差分析
三坐标测量机的测头分为两种：接触式测头按其结构又分为开关式(又称触发式或动态发讯式)和扫描式(又称比例式或静态发讯式)两大类。开关式测头的误差由开关行程，测头各向异性，开关行程分散性，复位死区等引起。扫描式测头的误差由测力一位移关系，位移一位移关系，交叉耦合干扰等引起。
测头的开关行程为测头与工件接触至测头发讯，测头所偏摆的一段距离。这是测头的系统误差。测头的各向异性是开关行程在各个方向上的不一致性。它是系统误差，但通常作随机误差处理。开关行程的分解性指重复测量时开关行程的离散程度。实际测量时，以某一方向开关行程的标准偏差计算。
复位死区指测头测杆偏离平衡位置后，撤除外力，测杆在弹簧力的作用下复位，但由于摩擦力的作用，测杆不能回到原始位置，它与原始位置的偏差就是复位死区。
所谓相对综合误差就是坐标测量机测量空间内点与点距离的测量值于真值之间的差，可用下式表示：
相对综合误差=距离测量值一距离真值
进行三坐标测量机额度验收和定期检定时，不需要精确知道测量空间内各个点的误差，只需要了解坐标测量工件的精度情况，这可采用三坐标测量机的相对综合误差来评定。
相对综合误差不直接反映误差源和测量误差，只进行与距离有关的尺寸测量时反映误差的大小，测量方法比较简单。
三坐标测量机的空间矢量误差
空间矢量误差指的是坐标测量机测量空间内任意一点处的矢量误差，它是测量空间内任意一个固定点在理想的直角坐标系中与三坐标测量机建立的实际坐标系中对应的三维坐标的差值。
理论上讲，空间矢量误差是该空间点的所有误差通过矢量合成得到的综合矢量误差。通过空间矢量误差可以直观地了解坐标测量机测量误差的大小，范围及分布。
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