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扫描电子显微镜

【总体描述】

蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA 15的问世,将钨灯丝扫描电镜的发展带入了全新的时代,超大样品室为各类繁杂的样品以及繁重的工作提供了轻松的解决方案,自动化的5轴样品台和大的XYZ轴跟踪扫描以及可变压力的检测模式使得EVO MA 15能够广泛适用于各类样品的检测工作,EVO MA 15作为一款研究级扫描电镜能够为您提供完美的视觉图像和最广泛的应用领域。

【技术参数】

   

分辨率

3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD)

加速电压

0.2—30KV

放大倍数

5—1000000x

探针电流

0.5PA-5μA

X-射线分析工作距离

8.5mm       35度接收角

压力范围

10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa)

工作室

365mm(φ)×275mm(h)

5轴优中心自动样品台

X=125mm    Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°

较大试样高度

145mm,大试样直径250mm

系统控制

基于Windows 7 的SmartSEM操作系统

存储分辨率

32,000 x 24,000 pixels

【主要特点】

能在可变压力下操作

先进X射线和EBSD分析

可移动大平台

快抽真空

未来的保证,可升级在高压和水蒸气下成像和分析

高亮度LaB6资源选择

光线套选择

【产品应用】

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。 


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