400-9699-806
【总体描述】
EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
【技术参数】
分辨率： | 3.0nm@ 30KV(SE and W)/ 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) |
加速电压： | 0.2—30KV |
放大倍数： | 7—1000000x |
探针电流： | 0.5PA-5μA |
X-射线分析工作距离： | 8.5mm 35度接收角 |
低真空压力范围： | 10—400Pa (LS10:10-3000Pa) |
工作室： | 310mm(φ)×220mm(h) |
5轴优中心自动样品台： | X=80mm Y=100mm Z=35mm T=-10°-90°R=360° |
较大试样高度： | 100mm，大试样直径：200mm |
系统控制： | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系统 |
存储分辨率： | 32,000 × 24,000 pixels |
【产品应用】
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。