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扫描电子显微镜

【总体描述】

    EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。EVO MA 25用于材料领域,LS 25用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高低真空成像功能,可对各种材料表面作分析,并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计,确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像,同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。

【技术参数】    

分辨率:

3.0nm@ 30KV(SE and W)/ 4.0nm@ 30KV(VP   with BSD)

加速电压:

0.230KV

放大倍数:

51000000x

探针电流:

0.5PA-5μA

X-射线分析工作距离:

8.5mm      35度接收角

低真空压力范围:

10400Pa (LS2510-3000Pa)

工作室  

420mm(φ)×330mm(h)

5轴试样载物台:

X=130mm    Y=130mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°

较大试样高度:

210mm,试样大直径:300mm

系统控制:

基于Windows 7 SmartSEM操作系统

存储分辨率:

32,000 × 24,000 pixels

【主要特点】

     大的样品高度可达210mm 

     大样品重量5Kg 

     大的样品直径300mm

     能在可变压力下操作

     高亮度LaB6资源选择

     光线套选择

【产品应用】

    扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。


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